我国特种气体市场起步较晚，所以在技术领域较国外巨头企业有一定的差距，也正是因为如此特种气体市场长期被外企所垄断。但近年来国内电子气体奋起直追，表现格外抢眼。
伴随着国民经济的发展，特别是21世纪后我国电子行业的突飞猛进，国内特种气体公司意识到了专有技术的重要性。我国在特种气体生产、储存等领域上取得了重要突破，特别是电子特气目前基本实现了国产化，基本打破了国外企业的垄断。
近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展，促使这一块所需使用气体的飞速发展。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高，所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。
随着我国工业的发展和改革开放的不断深入，主要跨国气体公司都纷纷进入中国，美国空气化工、法国液化空气、德国林德、普莱克斯、日本大阳日酸、日商岩谷气体公司等已占领我国部分特气市场，尤其是电子气体市场，合资和独资的半导体集成电路企业生产工艺中所使用的电子气体被这些国外气体公司所垄断，这与半导体集成电路对气体质量、供应的特殊要求有关。
随着微电子工业的不断发展,特别是超大规模集成电路制造的晶圆尺寸不断增大,线宽尺寸从微米级进人到亚微米(小于1um)级以及深亚微米(小于0.18um)级,这样,对半导体制造工艺中的超净气体的品质要求越来越高,对这些气体中微粒、杂质及控制要求极为严格,已达到ppb、ppt级,尘埃粒径要求控制小于0.1um的微粒,因此对超净气体的输送管路系统的洁净度提出了非常高的要求。特种气体指出，工艺气体中的杂质对半导体制造的整个过程都有影响。如高温处理中,重金属微粒向硅的内部侵人扩散,诱发结晶缺陷,是导致半导体器件特性裂化的原因。腐蚀工序中,由于微粒附着在硅片处,将导致接触部分和周围的腐蚀加工精度降低。
热处理工序中,碱金属微粒使氧化膜与硅的界面特性产生异常，引起耐压性差或电气特性劣化。特种气体指出，由于一旦该气体输送管道发生污染,将很难通过吹扫清除污染物,往往是更换掉被污染的管路,由于该系统造价昂贵,这样造成的损失将很大,因此,超净气体管道系统洁净度的要求甚至比对其纯度的要求在某种程度上显得更为重要。
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